SRM2133 i深度剖麵中磷種植(標準品)

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標準參考材料® 2133

矽深度剖麵標準中的磷植入物

•       SRM2133 i深度剖麵中磷種植(標準品)本標準參考物質(SRM)用於(yu) 校準次級離子對次級和次級離子的響應用二次離子質量分析技術測定矽基質中痕量磷光譜法(SIMS)。SRM 2133是用於(yu) 校準SIMS儀(yi) 器對磷的響應在一組特定儀(yi) 器條件下的矽矩陣。它也可以被實驗室用作轉移物矽中磷工作標準的校準標準。該SRM由1厘米× 1厘米組成以100keV的名義(yi) 能量注入同位素31P的單晶矽襯底。

           SRM2133 i深度剖麵中磷種植(標準品)被認證為(wei) 31P原子的保留劑量。劑量以每單位磷質量表示單位麵積。關(guan) 於(yu) 磷原子濃度隨深度變化的附加非認證信息表麵以下是基於(yu) SIMS分析提供的。

認證值和不確定度:31P原子的總保留劑量由放射化學中子確定激活分析(RNAA)兩(liang) 種獨立製備的磷參比溶液的等分(其中一種是NIST SRM 3139a磷標準溶液，磷濃度認證)沉積在鋁箔並作為(wei) 標準。由此產(chan) 生的認證值和擴展不確定度為(wei) :

認證值中的不確定性表示為(wei) 擴展不確定性U = kuc，其中k是覆蓋因子為(wei) 2.0，給出了95%的近似置信水平，uc是計算出的綜合標準不確定度根據ISO指南[1]。組合標準不確定度是通過對個(ge) 體(ti) 進行組合得到的從(cong) 測量過程中通過傳(chuan) 播不確定度[1]得到或估計的標準不確定度。的A類和B類標準不確定度分量來自以下測量不確定度主要來源:(1)樣本的測量複製和異質性;(2)樣本的測量複製比較標準，(3)標準溶液濃度，(4)放射化學ufc雷竞技，(5)體(ti) 積(6)載流子產(chan) 率的測定。所有已知的潛在不確定性來源都是如此被考慮[2-4]。